Dasom Jeon Email and Phone Number

경희대학교 차세대 반도체 연구실 연구원 (전자공학 석사 졸업 예정)1. 연구 기술- 트랜지스터 개발, 설계를 위한 공정 프로세스 최적화 (Sputter, RIE, CVD, Photo-lithography etc.)- Electrical measurement system을 이용한 전기적 측정 (Keithley 4200, Keithley 2400 etc.)- 트랜지스터를 위한 금속막 특성 측정 (접합 저항, Sheet 저항, mobility, 전기전도도 etc.)- 게이트 절연체 또는 passivation 절연체를 위한 insulator 특성 측정 (CV 측정)- 분석 장비를 통한 박막 특성 측정 (XPS, Raman spectroscopy, SEM, TEM, AFM etc.)- LabView와 Origin을 통한 데이터 추출과 분석2. 연구 경험- high-k 게이트 절연체 집적- Sputter를 이용하여 metal ohmic stack, insulator 레시피 개발 (TiN, Ti/Al/Ni/Pt, AlN, SiO2 etc.)- RIE, O2 plasma, chemical etchant를 이용한 etch 경험- GaN High Mobility Electron Transistor (HEMT), SiO2 MOSFET, RRAM 제작- 다양한 박막 응용 연구 (h-BN, Graphene, HfO2, 2D TMD)3. SCI 논문 및 특허- 국외 SCI 논문 제출 (제 1 저자 논문을 포함한 총 5 편의 논문 작성)Suppression of self-heating in nanoscale interfaces using h-BN based anisotropic heat diffuser, Applied Surface Science (IF 6.182), 제 1 저자, Minor revision.- 국내 특허 출원 예정3차원 집적 회로의 열 관리를 위한 hexagonal Boron Nitride의 집적