吴晓婧 Email and Phone Number

 主要负责镀膜工艺和部分刻蚀工艺。主要经历产品有SAW（表面声波元器件）、IPD（集成式无源器件）、n-LED和VCSEL（垂直腔面发射激光器）等； 改良薄膜性能，参与过SiO2、SiOF、SiN、金属等膜层的改良项目。例如使用Minitab对考察参数进行DOE安排，通过PECVD等制备薄膜，并采用FIB、BOW、椭偏仪、FTIR、XPS等测量设备，对薄膜的厚度、覆盖性、应力、折射率、各元素比率及声波传播速率等性能进行表征，分析数据改进实验方案至最终达到改良目标； 将改良后膜层应用于生产，采用SPC监控工序稳定性，严格把控CPk，当工序不稳定时，调查原因排除故障，以实现工序的可重现性； 参与新设备的引进、调试及日常维护，必要时联系供应商排除设备运行中出现的故障；参与耗材供应商的测试认证；参与设备夹具的设计和改造工作； 编写SOP文件，协助设备部制定设备维护周期，协助生产部培训主管及操作员的操作事项及文件讲解，协助PMC统计耗材购买量及周期，并给定购买参考意见等； 归纳总结工作进展，定期编写全英文PPT向外籍领导汇报。