김현기 Email & Phone Number

대한민국 충청남도 당진

대한민국 경기도

[가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성]우수한 특성을 갖는 DLC 박막의 증착 조건을 찾기 위해 캐패시터 타입의 RF-PECVD를 사용하여 공정 가스의 유량과 RF Power를 변화하여 박막을 증착하고, 증착된 박막의 특성을 연구[질소, 산소, 아르곤 플라즈마와 자외선에 의하여 표면 처리한 ITO의 특성]ITO 박막은 In2O3에 Sn을 첨가하여 Sn4+ 이온이 In3+ 이온을 치환하고 이 과정에서 잉여 전자가 전기전도에 기여하는 구조이며, ITO 박막은 표면 처리 방법에 따라 표면 상태가 크게 변화하므로 다양한 조건으로 표면 처리한 ITO 표면의 일함수, 면저항, 표면 형상, 평탄도, 접촉각 등에 관해 연구[청색 형광 OLED 소자 제작]ITO/Glass 기판 위에 Pattern 완성 후 기판 위에 UV Cleaning 후 챔버에 로딩하여 산소 가스를 공급해 진공도를 1.4× 10^-1 torr로 유지, RF Generator 이용 40W에서 3분간 플라즈마 처리 후 증착기 내부의 진공(Vacuum)을 1.0 x 10^-6 torr 이하 진공상태로 유지하여 유기물 및 금속 박막을 증착해 OLED를 제작

대한민국 충청남도

1) Ingot Growing 장비(Puller) 유지보수- Puller 19대 유지보수 (Ingot Growing 공정 中 발생하는 전기적 기계적 Trouble 해결)- 유지보수 관련 Parts 구매 및 관리- 정기예방점검(PM)진행(Leak Check, 구동부Test, Pump Belt 및 Oil점검, Throttle Valve Cleaning 등)2) 장비업체 Meeting- 보조 Pump 장비업체 변경 : 코디박 → Ulvac- Main Valve Type 변경 진행 : Ball Valve Type → Angle Valve (Ball Valve 방식의 스크래치로 인한 Leak 발생) 사내 공정기술 부서와 협의 후 교체 진행- 신규장비 Set-up 및 Magnet 업체 H&J Meeting 진행3) 3정5S 활동 및 우수 부서 수상- 품질부서 주관 3정5S활동 설비기술그룹 내 담당자로 활동 진행- 사내 부서 中 우수부서 선정